俄首臺(tái)350納米光刻機(jī)將在莫斯科生產(chǎn)
日期：2025-03-27 14:08:00 信息來(lái)源:俄羅斯衛(wèi)星通訊社
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莫斯科市長(zhǎng)謝爾蓋·索比亞寧在其 “電報(bào)” 頻道的賬號(hào)上發(fā)文稱，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已完成了俄羅斯首臺(tái)350納米光刻機(jī)的研發(fā)工作，這是生產(chǎn)微芯片的關(guān)鍵設(shè)備。
索比亞寧寫道：“全球有能力制造這一微芯片關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備的不到10個(gè)，如今，俄羅斯也躋身其中。我們已向過(guò)渡到自主生產(chǎn)微電子產(chǎn)品和國(guó)家技術(shù)完全獨(dú)立上邁出了最重要的一步?！?/div>
他還指出，俄羅斯的這一設(shè)備與外國(guó)類似設(shè)備有著非常大的不同，俄羅斯的這一設(shè)備首次使用固體激光器來(lái)作為輻射裝置，而不是汞燈，固體激光器功率大、能效高、耐用性強(qiáng)、光譜更窄。
莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司總經(jīng)理阿納托利·科瓦列夫說(shuō)道：“我們公司已按照國(guó)家合同完成了俄羅斯首臺(tái)350 納米拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的投影式光刻機(jī)的研發(fā)工作。這一項(xiàng)目是與白俄羅斯“Planar”工廠合作實(shí)施完成的。在2024 年 12 月測(cè)試成功后，這一光刻機(jī)就獲得了國(guó)家委員會(huì)的認(rèn)可，并記錄了所有申報(bào)的技術(shù)特征。目前已有客戶購(gòu)買了這一設(shè)備，現(xiàn)在這一設(shè)備的工藝流程正根據(jù)最終用戶對(duì)生產(chǎn)的特殊要求進(jìn)行調(diào)整?！?/div>
研發(fā)這一光刻機(jī)的目的是使現(xiàn)有的微電子生產(chǎn)設(shè)備現(xiàn)代化，并為生產(chǎn)某一類產(chǎn)品裝備新的微電子生產(chǎn)設(shè)備，例如為電力電子和光子學(xué)領(lǐng)域的產(chǎn)品，其工作區(qū)域面積顯著增加，達(dá) 22x22毫米，可加工最大直徑為200毫米的晶片。
莫斯科市投資和工業(yè)政策局指出，“莫斯科科技城”經(jīng)濟(jì)特區(qū)入駐企業(yè)“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司研發(fā)的光刻機(jī)在各種領(lǐng)域（在汽車、航空航天、工業(yè)自動(dòng)化和消費(fèi)電子產(chǎn)品等）的微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)中需求量很大。
“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已做好了批量生產(chǎn)這一新設(shè)備的準(zhǔn)備。此外，這一中心目前正在按第二份國(guó)家合同繼續(xù)開展 130 納米光刻機(jī)的研發(fā)工作，預(yù)計(jì)于 2026 年完成。
莫斯科政府部長(zhǎng)兼投資和工業(yè)政策局局長(zhǎng)阿納托利·加爾布佐夫評(píng)論道：“莫斯科是俄羅斯微電子發(fā)展的中心。如今莫斯科約占俄羅斯微電子企業(yè)總營(yíng)收的40%。微電子學(xué)和光子學(xué)的發(fā)展在城市和商業(yè)領(lǐng)域的各個(gè)行業(yè)都有著廣闊的應(yīng)用前景，包括光通信、傳感技術(shù)、無(wú)線電光子學(xué)等諸多方向。‘莫斯科科技城’經(jīng)濟(jì)特區(qū)的入駐企業(yè)目前正在實(shí)施一系列重大項(xiàng)目，每個(gè)項(xiàng)目都旨在生產(chǎn)具有戰(zhàn)略意義的產(chǎn)品?！?/div>